特种气体在LED中的应用

rosezhani

#六氟化硫#
特种气体是光电子、微电子和其他领域不可或缺的硅基载体材料，尤其适用于超大规模集成电路、LCD器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体灯和半导体材料制造工艺。其纯度和清洁度直接影响光电子和微电子元件的质量、集成度、特定技术指标和产量，并从根本上限制了电路和器件的准确性和准确性。



半导体照明是一个正在崛起的行业。随着复合半导体市场的扩大，对特种气体的需求越来越强烈，外延生长需要大量高纯度源和工艺气体。目前，台湾和日本在复合半导体市场占有很高的份额。近年来，中国和韩国的发展势头强劲，北美和欧洲的份额也有所增加。半导体技术中使用的特殊气体对生产、填充、运输和储存有多种严格的质量要求、技术和安全要求。此外，经济规模等因素需要各方面的积累，才能实现大规模生产。因此，国内市场现在很大，供应能力很低。
2,2，LED行业中使用的特殊气体
半导体工业中使用的气体种类繁多，质量要求高，消耗量低。其中大多数是有毒或腐蚀性气体。有100多个。半导体行业特种气体的应用分类主要包括：
2.LED行业使用的特殊气体
半导体工业中使用的气体种类繁多，质量要求高，消耗量低。其中大多数是有毒或腐蚀性气体。有100多个。半导体工业中的特殊气体按用途分类，特别是：



1.硅基气体：含硅基的硅烷，如硅烷、二氯硅烷、乙烷等。
2.讲授气体：含有三或五组原子的气体，如硼、磷、砷等。，如三氯化硼、三氟化硼、磷酸盐、砷等。
3.蚀刻清洗气体：主要含有卤化物和卤素碳化合物，如氯、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷等。
4.反应气体：主要是碳和氮氧化物，如二氧化碳、氨、氮氧化物等。
5.金属气相沉积气体：含有卤化金属和有机烷烃金属，如六氟化钨、三甲基镓等。